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175-1317-6192熱式氣體流量傳感器簡介
熱式氣體流量傳感器是基于流體傳熱學原理的一類傳感器，利用 MEMS 熱式原理對管路氣體介質(zhì)進行流量監(jiān)測。
流量芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成，熱偶堆對稱分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個隔熱底座上。
加熱電阻對熱偶堆的熱結(jié)進行加熱，熱偶堆熱結(jié)和冷結(jié)之間的溫度梯度導致輸出電壓。當流體靜止時，加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度是相同的；當流體從右向左流動時等溫線向左側(cè)傾斜，加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測定 。
由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān)，因此傳感器可以直接測出流體質(zhì)量流量。
熱式氣體流量傳感器特點及應用
熱式氣體流量傳感器利用比較簡單的構(gòu)造來準確地測量氣體的質(zhì)量流量，具有結(jié)構(gòu)簡單、壓損小、量程范圍寬等優(yōu)點，在工業(yè)過程控制、醫(yī)療設(shè)備、便攜式儀器、環(huán)境監(jiān)測設(shè)備等領(lǐng)域有著廣泛的應用。
熱式氣體流量傳感器選型
熱式氣體流量傳感器是一種廣泛應用于氣體流量測量領(lǐng)域的設(shè)備，具有精度高、穩(wěn)定性好、響應速度快等優(yōu)點。在選型時，需要根據(jù)實際應用場景、氣體性質(zhì)等方面進行綜合考慮。
不同的應用場景對氣體流量傳感器的需求不同。例如，在工業(yè)生產(chǎn)過程中，需要對氣體流量進行精確控制，以確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量；而在環(huán)保監(jiān)測領(lǐng)域，需要測量各種氣體污染物排放量，以評估環(huán)境污染程度。因此，在選型時，需要明確實際應用場景，以便選擇合適的傳感器。
其次，我們需要考慮氣體性質(zhì)。不同的氣體具有不同的物理性質(zhì)和化學性質(zhì)，對傳感器的測量精度和穩(wěn)定性都會產(chǎn)生影響。例如，有些氣體具有腐蝕性，會對傳感器造成損害；有些氣體密度較小，容易在管道中產(chǎn)生渦流和紊流，影響測量精度。因此，在選型時需要充分了解氣體性質(zhì)，以便選擇適合的氣體流量傳感器。
煒盛科技流量傳感器是基于先進的MEMS硅工藝制成的熱式質(zhì)量流量傳感器，具有功耗低、體積小、無需穩(wěn)壓補償、抗沖擊、穩(wěn)定可靠等特點，為醫(yī)療、儀器、自動化、燃氣計量等領(lǐng)域的氣體流量檢測提供傳感器解決方案。
MEMS熱式氣體流量傳感器FR系列
型號 | FR03 | FR03H |
產(chǎn)品圖 |  |  |
表貼式結(jié)構(gòu) | 通徑D ?3mm | |
最大流量 | 500mL/min @20℃ 101.325kPa | 5L/min @20℃ 101.325kPa |
測量精度 | [25 ，500]mL/min：±2.5% [0，25） mL/min：±0.5%FS | [0.15，5]L/min ：±2.5% [0，0.15)L/min：±0.5%FS |
重復性 | 0.50% | |
輸出方式 | 數(shù)字 IIC 或模擬電壓 | 數(shù)字 IIC 或線性模擬電壓 |
信號刷新時間 | ≤1ms | |
信號響應時間 | ≤3ms | |
測量介質(zhì) | 干燥潔凈的非腐蝕性氣體 | |
電氣接口 | PH2.0-5P 插接式連接器 | PH2.0-5P 插接式連接器或2.54mm-5P 插針 |
應用 | 分析儀、空氣采樣器、粒子計數(shù)器、消毒機等 | |
型號 | FR06 | FR08 |
產(chǎn)品圖 |  |  |
?6-G1/8 氣動接頭 | ?8PU管 | |
最大流量 | 20L/min @20℃ 101.325kPa | 50L/min （優(yōu)選） 100L/min（可選） @0℃101.325kPa |
測量精度 | [0.6 ，20]L/min：±2.5% [0，0.6) L/min：±0.5%FS | ±(2+0.5FS)% |
重復性 | 0.50% | |
輸出方式 | 數(shù)字 IIC 或模擬電壓 | |
信號刷新時間 | ≤1ms | |
信號響應時間 | ≤3ms | |
測量介質(zhì) | 干燥潔凈的非腐蝕性氣體 | |
電氣接口 | PH2.0-5P 插接式連接器 | PH2.0-5P端子 |
應用 | 空氣采樣器/分析儀、粒子計數(shù)器、便攜式儀器等各類氣體測量 | 工業(yè)過程控制、空氣和環(huán)境保護等領(lǐng)域的氣體流量檢測 |
型號 | FR15 | FR20 |
產(chǎn)品圖 |  |  |
?15mm 通徑 | ?20mm通徑 | |
最大流量 | 240L/min @20℃ 101.325kPa | 200L/min @20℃ 101.325kPa |
測量精度 | 9L/min～240L/min：±2.5% 0～9L/min： ±0.5%FS | 9L/min～200L/min：±2.5% 0～9L/min ： ±0.5%FS |
重復性 | 0.50% | |
輸出方式 | 數(shù)字 IIC 和線性模擬電壓 | 數(shù)字 IIC 或線性模擬電壓 |
信號刷新時間 | ≤1ms | |
信號響應時間 | ≤3ms | |
測量介質(zhì) | 干燥潔凈的非腐蝕性氣體 | |
電氣接口 | 傳感器： Molex 87831-1041 引 線： Molex 87832-1010 | PH2.0-5P插接式連接器 |
應用 | 重癥呼吸機/轉(zhuǎn)運呼吸機等 | 醫(yī)療領(lǐng)域呼吸機、麻醉機、氣腹機等及工業(yè)過程檢測 |
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