熱式氣體流量傳感器是基于流體傳熱學(xué)原理的一類傳感器,利用 MEMS 熱式原理對(duì)管路氣體介質(zhì)進(jìn)行流量監(jiān)測。
流量芯片由兩個(gè)熱偶堆和一個(gè)加熱電阻組成,熱偶堆對(duì)稱分布在加熱電阻的上、下游,加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個(gè)隔熱底座上。
加熱電阻對(duì)熱偶堆的熱結(jié)進(jìn)行加熱,熱偶堆熱結(jié)和冷結(jié)之間的溫度梯度導(dǎo)致輸出電壓。當(dāng)流體靜止時(shí)
加熱電阻兩側(cè)對(duì)稱位置的溫度是相同的;當(dāng)流體從右向左流動(dòng)時(shí)等溫線向左側(cè)傾斜,加熱電阻兩側(cè)對(duì)稱位置的溫度不再相同,溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測定 。
由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān),因此傳感器可以直接測出流體質(zhì)量流量。
熱式氣體流量傳感器特點(diǎn)及應(yīng)用
熱式氣體流量傳感器利用比較簡單的構(gòu)造來準(zhǔn)確地測量氣體的質(zhì)量流量,具有結(jié)構(gòu)簡單、壓損小、量程范圍寬等優(yōu)點(diǎn),在工業(yè)過程控制、醫(yī)療設(shè)備、便攜式儀器、環(huán)境監(jiān)測設(shè)備等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
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| | 線性1-5V/0.5-4.5V或數(shù)字IIC |
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| 2.54mm-5P插針或PH2.0-5P端子(可選) |
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| 線性1-5V/0.5-4.5v或數(shù)字IIC | |
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| | 0-9SLM ±0.5SLM
9-300SLM ±2.5%FS |
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| 2.54mm-5P插針或PH2.0-5P端子(可選) | |
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| | 0.03/0.05/ 0.1/0.2/0.3/0.5/1 |
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| 線性1-5V/0.5-4.5V或數(shù)字IIC | |
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